植田研究室

　◆研究装置

　　（研究室の主な装置）
　　・マイクロ波プラズマCVD装置
　　・アンテナ型マイクロ波プラズマCVD装置
　　・イオンビームスパッタ装置
　　・分子線エピタキシー装置
　　・高温高電圧下電気特性評価装置
　　・電気特性 (I-V等) 評価用プローバシステム
　　・ホール測定装置
　　・真空アニール装置

　他に下記の様な共同利用施設を利用しています

　　FAIS 共同研究開発センター
　　　　（リゾグラフィ―、エッチング装置等）

　　北九州市立大学計測・分析センター　
　　　　（Ｘ線回折装置等）